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Brooks自动化股份有限公司案例—— Brooks自动化和Galil团队成功提高了晶圆产量
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Brooks自动化股份有限公司案例——

Brooks自动化和Galil团队成功提高了晶圆产量


在竞争激烈且要求严格的硅晶圆生产领域,产量、精度和可靠性至关重要。

日益提高的性能规格、缩短上市时间和降低成本等相互冲突的要求在不断挤压半导体设备制造商的生存空间。因此,大多数半导体设备制造商在设计他们的系统时都指定使用Brooks自动化股份有限公司制造的机器人。这也正是Brooks选择了Galil运动控制器的原因,现已将其应用于所交付的10,000多台机器人。

通过整合Galil运动控制器和Brooks专有的时间优化轨迹软件的功能,Brooks成功将产量提高了33%以上。该公司的时间优化轨迹软件可以将Galil的S型加速度曲线与部分重叠的运动曲线相结合。如果没有这种加速度曲线,要实现相同的产量,就需要设置更高的速度和加速度,这将会导致磨损加剧和寿命缩短,并最终降低可靠性。

随着一些晶圆在其最终制造阶段的价值接近数十万美元,半导体行业必须需要最可靠、最高精度的制造设备。而这正是Brooks所提供的。为了满足这些严格的要求,Brooks依靠Galil成熟的架构和运动控制算法,在晶圆生产过程中始终可靠地保持精确控制。

凭借在设计、制造、尤其是质量组件方面对卓越的不懈追求,Brooks已发展成为半导体晶圆加工领域颇具影响力的领导者,成为了美国最大的晶圆加工机器人制造商。

Brooks于2002年5月完成了对PRI自动化的收购。Brooks致力于为全球半导体行业提供自动化解决方案。该公司所提供的硬件、工厂/工具管理软件和专业服务,能够管理晶圆厂中的每个晶圆、刻线以及数据传输,帮助半导体制造商提高产量、增加利润、降低成本,同时还能缩短产品的上市时间。Brooks的产品和功能几乎遍布全球每个晶圆厂。

Brooks已在其交付的10,000多台晶圆加工机器人上使用了Galil运动控制器



Brooks自动化股份有限公司

加利福尼亚州山景城

www.brooks.com

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